クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために
クラス100の環境で作業を行う際、加熱というのは単に物を温めるためだけのものではありません。それは、微粒子との戦いでもあるのです。
一般的な加熱要素は、このような環境では問題を引き起こします。それらはガスや微小な破片を放出するからです。これらは目に見えないものですが、シリコンウエーハーや高精度レンズを破壊してしまいます。そうしたことを防ぐために、私たちは高純度の合成石英製の赤外線ランプを使用しています。
なぜ石英が重要か
実は、私たちが使用しているのは融解石英です。なぜなら、融解石英は安定しており、高温になってもガスが漏れ出ないからです。
安価なランプは、通常、ホウケイ酸ガラスや低品質のガラスを使用しています。しかし、こうしたランプは、高温になるとすぐに剥がれ落ちたり、揮発性物質を放出したりします。私たちは、金属不純物を取り除くために石英管を処理しています。そうすることで、「ホットスポット」の発生を防ぎ、温度を素早く変えても管が割れるのを防ぎます。
電力、熱、そして「焼損」のリスク
もし急速に硬化や乾燥が必要で、作業スペースが限られている場合は、高ワット数のランプが必要です。私たちは、コンパクトなサイズを実現するために、高い出力密度を持つランプを選んでいます。
しかし注意が必要です。2000W以上のランプを狭い空間に設置すると、熱が集中してしまいます。もし筐体の冷却機能が十分でない場合、制御用の電子部品が破壊されてしまいます。これは、プロジェクトを台無しにする原因になります。
ランプが燃え尽きるのを防ぐために、ハロゲンガスを充填しています。これにより、蒸発したタングステンが再びフィラメントに戻る仕組みになります。そうすることで、ワイヤーが細くなるのを防ぎ、ランプの寿命が長くなります。
正しく設置する方法
私たちはR7sやSK15といったコネクタを使用しています。これらは、使いやすさだけでなく、気密性と確実な電気的接続を実現するためにも重要です。
クリーンルームでは、アークが発生するのは避けたいものです。接続が緩むとオゾンや微粒子が発生し、クリーンルームとしての目的が台無しになります。
配線に関しては、精密なPIDコントローラーを使用しましょう。これにより、目標温度を超えることがありません。また、悪い配線を直そうとして電圧を上げるのは避けてください。そうするとランプが破壊されてしまいます。定格電圧を守れば、出力も安定します。