R7s赤外線加熱電球 ファブ用

リソグラフィフロアでは、ソフトベークの温度がわずか0.5℃でもずれると、重要寸法のバイアスが発生し、多数の製品に影響を及ぼす可能性がある。信頼できる加熱が必要であり、設定後は放置でき、運を天に任せるようなことは許されない。 内部で重要なポイント 半導体の熱予算に合わせてR7s赤外線ヒーター電球を規...