ウェーハ用カスタム赤外線ヒーター

半導体製造ラインでは、フォトレジストベークは単なる予熱ではなく、ライン幅制御のための熱的ゲートキーパーである。ウエハ全体で2℃の温度変動があると、クリティカルディメンションが仕様外になる。また、ベーク中に発生する粒子は、エッチング前にデバイスを破壊してしまう可能性がある。この現実に対応するために、...