安価なウェーハ乾燥用電球

リソグラフィーの工程では、温度の変動やゆっくりとした加熱が、本来安定しているはずのプロセスを台無しにしてしまうことがあります。ウェーハの乾燥やソフトベイク、ハードベイクには、再現性が高く、迅速で、かつ安定した熱源が必要です。当社では、追加コストをかけることなく、そのような条件を満たす短波赤外線石英...