リソグラフィーの工程では、ソフトベイクやハードベイクの段階でフォトレジストの特性を固定します。温度が2度でもずれると、CDのばらつきや不純物の発生が起こります。加熱源の温度は、フォトレジストの化学的性質に合わせて調整されなければならず、過剰にも不足してもいけません。常に適切な温度プロファイルを維持...

冬に冷たいバスルームの床に足を踏み入れると、単に不快なだけでなく、筋肉が緊張し、息が止まりそうになります。古いヒーターがゆっくりと部屋を暖めるのを待つ間は、時間がかかります。そしてようやく温かくなっても、その温かさは不均一で、足元のタイルは依然として冷たいままです。 技術的なポイント 私たちが開発...