バイオセンサーの製造において、適切な温度を維持することは非常に重要です。すべてが絶妙に調整されていなければなりません。もし最新のデジタル型の製造装置を使う場合、コントローラーの指示に即応できる熱源が必要です。 そのため、私たちは高強度の赤外線ランプを使用します。これらのランプは非常に迅速に反応しま...

バイオセンサーの製造に時間を費やしたことがある人なら、熱硬化処理の難しさをよく知っているでしょう。正確な温度管理が必要ですが、一般的なIRランプは単なる電球のようなもので、エネルギーをあらゆる方向に放出してしまいます。 そのようなランプを狭い半導体チャンバー内に設置すると、内壁が余分な熱を吸収して...

破壊を防ぐ：トラブルが起きてもウェーハをきれいに保つ方法 正直言って、高負荷の環境下でIRランプが故障すると、それは本当に大変なことです。単に停止時間や部品の故障による不便さだけではありません。問題は、その後に発生する汚染です。 圧力に耐えられずにクォーツ管が破損すると、破片や微粒子がウェーハ上に...

なぜIR加熱が、CNTの迅速な製造に不可欠なのか 半導体の精密加工においてカーボンナノチューブを使用している方なら、最も厄介なのは化学的な問題ではなく、時間の問題だということをご存知でしょう。 依然として多くの工場では熱風循環方式が使われています。しかし、空気は熱を伝えるのが非常に悪いです。結果と...

ヒーターによって水素センサーが損傷するのを防ぎましょう。 もしあなたがクラス100のクリーンルームで作業したことがあるなら、その苦労はご存知でしょう。目に見えないものと常に戦っているのです。 本当の悩みは、ガスの放出です。 一般的な加熱素子は、実質的に汚染物質の発生源です。高温になると、微細な粒子...

バイオセンサーにより多くの熱を与えるために ウェーハ上でバイオセンサーを作成する際、熱の配分を適当に行うわけにはいきません。正確に必要な場所に熱を届ける必要があります。 そのため、私たちは金メッキされた反射板と組み合わせた赤外線ランプを使用します。仕組みは簡単です。熱が装置のケース内に漏れ出るのを...

製造現場では、ラインは決して待つことはありません。リソグラフィー装置は連続して稼働しており、もしソフトベイクやハードベイクの温度がわずかにでも変動すれば、重要な寸法の精度が低下してしまいます。熱的な変動は単なる問題ではなく、不良品の発生や再作業、そして回復不可能な生産能力の損失という形で現れます。...