破壊を防ぐ：トラブルが起きてもウェーハをきれいに保つ方法
正直言って、高負荷の環境下でIRランプが故障すると、それは本当に大変なことです。単に停止時間や部品の故障による不便さだけではありません。問題は、その後に発生する汚染です。
圧力に耐えられずにクォーツ管が破損すると、破片や微粒子がウェーハ上に飛び散ります。これは深刻な汚染事故であり、数秒で一括のウェーハがダメになってしまいます。私たちは、このような事態を防ぐ方法を長い間研究してきました。
秘密は、製造工程にあります。
ほとんどのクォーツ管は、熱の偏りや不均一な熱膨張によって故障します。これを解決するために、私たちは管壁の厚みを調整し、高純度の合成クォーツを使用しました。これにより、急激な温度変化にも耐えられ、微細な亀裂が生じることがありません。
また、専用のコーティングも施しています。これはまるで安全網のようなものです。フィラメントが燃え尽きたり、割れ目が生じたりした場合でも、このコーティングが管をしっかりと保持し、システムが緊急停止するまで耐えます。安価な製品では見られない「破壊現象」は起こりません。
熱対策
高負荷の生産環境では、高いワット数が必要です。しかし、短い管に過度な電力を供給すると、ガラスが軟化してしまいます。これは微妙なバランスが必要です。私たちは、電圧やフィラメントの形状を調整することで、熱が全体に均等に分散されるようにしています。
しかし、冷却システムも完璧でなければなりません。空気の流れが不均一だと、低温部分ができてしまいます。その温度差がガラスに機械的なストレスを与えます。たとえ最良のランプであっても、冷却システムが十分でなければ故障してしまいます。
重要なポイント
私たちは標準化されたコネクタを使用しています。緩んだ接続は、事故の原因になります。緩んだ接続によってアークが発生し、エンドキャップが加熱され、密封が破壊されてしまいます。しっかりと接続しておけば、電圧降下や端子の過熱も起こりません。
最後に、定期的なメンテナンスの際にランプを交換することをお勧めします。ランプを使い続けるのはリスクが高いです。クリーンルームでは、絶対に避けるべきリスクです。