ファブ内での熱による問題への対処法
機器の表面に触れただけで手が火傷してしまったことはありませんか？それが、通常の赤外線ヒーターが持つ問題点です。これらのヒーターはエネルギーをあちこちに放散してしまうのです。
狭い半導体製造場では、これは大きな問題です。もし機械の筐体がスペースヒーターのように機能してしまったら、作業員の安全だけでなく、隣接する精密機器の性能にも悪影響を与えます。
熱を集中させる
この問題を解決するために、方向性のあるIR硬化ランプを使用します。つまり、360度に熱を放出する単純な石英管の代わりに、反射板や特殊なコーティングを使ってエネルギーを特定の方向に集中させるのです。
そうすれば、熱はウェハーに直接伝わります。それだけです。
このように角度を絞ることで、不要な熱が筐体の壁に移動するのを防げます。必要な場所に正確な温度を得ることができ、機械の筐体全体がラジエーターのようになることもありません。
デメリット
ただし、注意点もあります。エネルギーが一点に集中するため、ランプ自体が非常に高温になります。これは拡散型のヒーターよりもずっと高温です。
そのため、単純にこのランプを取り付けて終わりというわけにはいきません。取り付け用のブラケットがその高い温度に耐えられるかを確認する必要があります。また、筐体全体が冷たくても、筐体内部を冷却するための風速を適切に調整する必要があります。
なぜ重要なのか
方向性のある加熱方式を使えば、筐体の内壁に厚手の断熱材を使う必要がなくなります。そうすれば、設置がずっと簡単になります。
不要な熱と戦うのではなく、エネルギーを実際に作業が行われる場所に集中させることができます。そうすれば、機器の表面が安全であり、作業員も快適に過ごせます。また、施設のHVACシステムも、部屋が過熱しないように過剰に稼働する必要もありません。