ウェーハ加熱時の安全距離

熱の無駄遣いを止めよう：ウェーハを効率的に加熱する方法 従来の赤外線ランプの問題点は、熱があらゆる方向に放出されてしまうことです。半導体製造装置内で作業する際、これは大きな問題です。高価な装置を使っているにもかかわらず、エネルギーの大部分がウェーハに届くどころか、装置の内壁に当たってしまいます。そ...