なぜ、すべてのランプをテストするのか？（そして、それがお客様の製造工程にとってなぜ重要なのか） 乾燥処理を行う際、高ワット数の熱と、極めてデリケートな電子部品を同時に扱わなければなりません。これは非常に厳しい状況です。絶縁処理にわずかなミスがあるだけで、全体のシステムが停止してしまいます。さらに悪...

破壊を防ぐ：トラブルが起きてもウェーハをきれいに保つ方法 正直言って、高負荷の環境下でIRランプが故障すると、それは本当に大変なことです。単に停止時間や部品の故障による不便さだけではありません。問題は、その後に発生する汚染です。 圧力に耐えられずにクォーツ管が破損すると、破片や微粒子がウェーハ上に...

クリーンな環境を維持する：クラス100のクリーンルームでの加熱手段 クラス100の環境で作業を行う場合、わずかなほこりの粒子でも大問題になります。ほんの一つだけでも十分です。ほとんどの加熱要素は、加熱や冷却の過程でガスが放出されたり、粒子が飛び散ったりする傾向があるため、使用しにくいのです。 これ...

クラス100のクリーンルームを運用しているなら、ご存知の通り、ほんのわずかなほこりでもウェーハの品質が悪化してしまいます。これは本当に厄介な問題です。一般的な加熱素子では、安定した状態を維持する必要があるのに、実際には剥がれ落ちたりガスを放出したりしてしまうため、使えません。 だからこそ、私たちは...

ファブ内での熱による問題への対処法 機器の表面に触れただけで手が火傷してしまったことはありませんか？それが、通常の赤外線ヒーターが持つ問題点です。これらのヒーターはエネルギーをあちこちに放散してしまうのです。 狭い半導体製造場では、これは大きな問題です。もし機械の筐体がスペースヒーターのように機能...

ヒーターのケースを安全に保つために（そして、機器が正常に動き続けるために） 私たちが製造するステンレス製のヒーターのケースは、高温に耐えられるように設計されています。しかし実際には、私たちを悩ませるのは熱そのものではありません。問題は漏電です。 産業分野において、絶縁体にわずかな隙間があっただけで...

化学物質が存在する場所で、ランプが爆発を引き起こさないようにするにはどうすればよいのでしょうか？ 正直に言えば、爆発性のある化学溶剤が満ちた部屋に赤外線加熱ランプを置くのは、災害を招く行為です。裸の加熱要素というのは、まるでガソリンスタンドで火をつけているようなものです。それは絶対に避けなければな...

ライン上では、温度曲線は提案ではなくプロセスそのものです。LCDパネル工場では、フォトレジスト積層、基板温度、ベークプロファイルが、ライン幅、サイドウォール角度、欠陥予算を直接決定します。ベーク条件が変動すると、歩留まりを失うだけでなく、トレーサビリティやリソグラフィ、エッチング、検査データ間のフ...