赤外線ランプ用アルミニウム反射板

ウェーハを清潔に保つために：高負荷のIR加熱にどう対処するか 正直に言って、IRランプが過度な負荷を受けると、それは大変な問題です。単なる停止時間だけの問題ではありません。ガラスの破片やタングステンフィラメントが直接ウェーハに落ちてくるのです。1本でもランプが壊れると、そのロット全体が無駄になって...