持続可能なファブ製造ソリューション

破壊を防ぐ：トラブルが起きてもウェーハをきれいに保つ方法 正直言って、高負荷の環境下でIRランプが故障すると、それは本当に大変なことです。単に停止時間や部品の故障による不便さだけではありません。問題は、その後に発生する汚染です。 圧力に耐えられずにクォーツ管が破損すると、破片や微粒子がウェーハ上に...