クラス100のクリーンルームを運用しているなら、ご存知の通り、ほんのわずかなほこりでもウェーハの品質が悪化してしまいます。これは本当に厄介な問題です。一般的な加熱素子では、安定した状態を維持する必要があるのに、実際には剥がれ落ちたりガスを放出したりしてしまうため、使えません。
だからこそ、私たちは高純度の合成石英製の赤外線ランプを使用しているのです。
汚染との戦い 私たちは、不純物含有量が極めて低い融解石英を使用しています。なぜでしょうか？高温になると、安価な材料からは金属イオンが放出されてしまうからです。ここには金属製の被覆は一切ありません。酸化するものもなく、剥がれ落ちて製品を損傷させるようなこともありません。
そして、セール部品についても言及しておきます。通常、ランプが故障するのはこの部分です。私たちは特殊なガラスと金属のセールを使用しているので、内部のハロゲンガスが管の中に留まり続けます。生産エリアに漏れ出ることはありません。
的確に熱を供給する これらのランプは短波長の赤外線を利用して動作します。部品周辺の空気を温めるのではなく、熱が直接基材に伝わります。これにより、より正確でコントロールされた熱供給が可能になります。
また、小さなスペースに多くのワット数を詰め込むことで、加熱装置をコンパクトに保っています。ただし、注意が必要です。これらのランプは非常に熱くなります。2000ワット以上の出力を得る場合は、筐体の冷却性能が十分であることを確認してください。そうでないと、サーマルセンサーが誤作動してしまいます。
設置と長期間の使用 コネクタはシンプルに設計されているので、簡単に取り付けられます。R7やSKシリーズのベースを使用しても、しっかりと固定されます。これは重要です。緩んでいると、電気アークが発生し、オゾンや微粒子が生成されます。クリーンルームでは、これは許されません。
最後に、高耐熱性のフッ素樹脂製のケーブルを使用してください。普通のPVCを使用すると、溶けてガスが放出され、クラス100の状態はすぐに失われてしまいます。
純度の基準を守り、冷却システムを適切に機能させれば、これらのランプは何千回ものサイクルにわたって安定した出力を提供し続けます。