液晶パネル製造用赤外線ヒーター

ライン上では、温度曲線は提案ではなくプロセスそのものです。LCDパネル工場では、フォトレジスト積層、基板温度、ベークプロファイルが、ライン幅、サイドウォール角度、欠陥予算を直接決定します。ベーク条件が変動すると、歩留まりを失うだけでなく、トレーサビリティやリソグラフィ、エッチング、検査データ間のフ...