省エネ型ウェーハヒーター

なぜウェーハヒーターの絶縁試験を重視するのか？ ウェーハを高温で加熱する際、最も避けたいのが電気的な漏れです。わずかなスパークや不要な電流があれば、数秒で大量のシリコンが破壊されてしまいます。これは本当に恐ろしい状況です。 そのため、私たちは「サンプル検査」を行いません。数個だけテストして良い結果...