リソグラフィーの工程では、ソフトベイクやハードベイクの段階でフォトレジストの特性を固定します。温度が2度でもずれると、CDのばらつきや不純物の発生が起こります。加熱源の温度は、フォトレジストの化学的性質に合わせて調整されなければならず、過剰にも不足してもいけません。常に適切な温度プロファイルを維持...

リソグラフィー工程において、焼成工程は単なる停止時間ではなく、むしろ許容範囲の境界となります。フォトレジストの挙動は温度によって決まり、わずか数十分の一度の温度変動でも、電気的なテストを行うまで気づかないほどの線幅の誤差が生じることがあります。大量生産の工場では、これはすぐにスクラップや再処理が必...