リソグラフィフロアにおいて、ソフトベイク時の0.5℃のドリフトは「小さな誤差」ではありません。ロット廃棄を意味します。熱予算の無駄遣いであり、クリティカルディメンション制御の崩壊です。私たちは、そのドリフトが発生する地点で食い止めるためにセラミック赤外線ヒーターパネルを開発しました。 技術的に重要...

冷たいオフィスの影響 冷たいオフィスは、肩を耳の近くに引き上げるだけでなく、集中力を失わせ、関節を硬直させ、冬の風邪を引き起こしやすくします。強制送風システムは、ほこりを舞い上がらせるだけで、人が座っている場所の空気は冷たいままです。赤外線パネルヒーターは、人を直接暖めることでこの問題を解決します...

ライン上では、温度曲線は提案ではなくプロセスそのものです。LCDパネル工場では、フォトレジスト積層、基板温度、ベークプロファイルが、ライン幅、サイドウォール角度、欠陥予算を直接決定します。ベーク条件が変動すると、歩留まりを失うだけでなく、トレーサビリティやリソグラフィ、エッチング、検査データ間のフ...