なぜセラミック製のエンドキャップがIRエミッターにとって重要なのか IRエミッターは非常に過酷な環境で動作します。極めて高温になるため、あらゆる部分に大きな負荷がかかります。セラミック製のエンドキャップは、まさにその中で重要な役割を果たす部品です。これは、発熱するフィラメントの端子がランプのケース...

ウェーハを清潔に保つために：高負荷のIR加熱にどう対処するか 正直に言って、IRランプが過度な負荷を受けると、それは大変な問題です。単なる停止時間だけの問題ではありません。ガラスの破片やタングステンフィラメントが直接ウェーハに落ちてくるのです。1本でもランプが壊れると、そのロット全体が無駄になって...

ウェーハが加熱されるのを待つ時間を無駄にしないでください。 半導体製造工場で働いたことがある人なら、その「待つ」という苦痛をよく知っているでしょう。 深層加工において最も時間を食うのは、実際の処理自体ではなく、装置の温度上昇や冷却の過程です。従来の強制送風方式では、単に熱い空気を部屋中に送り込むだ...