ウェーハ処理装置用温度センサー

ファブ内での炭素排出を削減するために：なぜ赤外線加熱が有効なのか 半導体製造工場をカーボンニュートラルにしようとするなら、もはや従来の抵抗式ヒーターに頼ることはできません。それらはあまりにもエネルギーを無駄にしてしまいます。 最近では、ウェーハ処理用の装置に赤外線加熱ランプを使用しています。その理...