焼損したランプが全体のワークを台無しにするのを防ぐ方法
高負荷でウェーハを加熱処理しているとき、ランプが焼損するのは大変な問題です。単に停止時間が長くなるだけではありません。
石英ランプが破裂したら、ガラスの破片やハロゲンガスが直接シリコンウェーハに降り注ぎます。そうなれば、ウェーハはダメになり、クリーンルームもめちゃくちゃになってしまいます。これは非常に費用がかかり、厄介な事態です。
だからこそ、私たちは反射器を使って物理的な安全装置として機能させているのです。
反射器の仕組み
私たちは高純度のアルミニウム製の反射器を使用しています。これには2つの役割があります。第一に、赤外線を正確に必要な場所に送り込むこと。第二に、ガラスの破片をキャッチすることです。
ケースはランプを覆うように設計されており、石英の容器が壊れても、反射器がほとんどの破片をキャッチします。そうすれば、ウェーハが破壊されることはありません。オフィスでの作業もずっと楽になります。
熱対策
高出力のランプは激しい温度差を生み出します。その熱がランプの端部に戻ると、シール部分が壊れてしまいます。実際にそういう事例があります。コネクタ部分の熱放散が悪いと、ランプが早く壊れてしまいます。
これを解決するために、私たちは研磨済みのアルミニウムや金メッキを施した表面を使用しています。これにより、電極からの熱が遠ざけられ、ランプの寿命が延びます。
トレードオフとその対処法
ただし、この反射器のおかげで、フィラメントとウェーハの間に少し距離ができてしまうため、裸のランプの場合ほど強力な光が得られないかもしれません。その場合は、わずかに出力を上げたり、ウェーハをもう少し長く加熱処理する必要があります。正直、それは妥当な代償です。大量のウェーハを廃棄するコストと比べれば、数秒の加熱処理時間は大したことありません。
最後に、冷却ファンにも注意しましょう。正しく接続されており、十分な空気が流れているかを確認してください。反射器のケースが過度に熱くなると、変形してしまい、安全装置としての機能を果たせなくなります。空気が適切に流れていれば、問題ありません。