웨이퍼 가열을 위한 안전 거리

열 낭비를 멈추세요: 웨이퍼를 더 효과적으로 가열하는 방법 일반적인 적외선 램프의 문제점은, 열이 모든 방향으로 퍼진다는 것입니다. 반도체 처리실에서 작업할 때 이는 큰 문제가 됩니다. 값비싼 장비들이 있음에도 불구하고, 에너지가 웨이퍼에 도달하기보다는 내부 벽에 부...