
Neden yarı iletken işlemlerinde sıcak hava kullanımından vazgeçiyoruz?
Çoğu yarı iletken üretim sürecinde hâlâ kurutma ve sertleştirme işlemleri için sıcak hava kullanılıyor. Bu eski bir yöntemdir ve dürüst olmak gerekirse oldukça verimsizdir.
Hava, berbat bir ısı iletkenidir. Bir wafer’ı uygun sıcaklığa getirmek için tüm odanın ısıtılması gerekiyor. Bu da tıpkı tüm mutfak ısıtılırken tek bir bezelyeyi ısıtmaya çalışmak gibi absürt bir durumdur. Bu yöntem çok fazla enerji harcar ve her şeyi yavaşlatır.
Zaman azalıyor…
İşte burada Kızılötesi (IR) devreye giriyor. Hava gibi bir araca bağımlı kalmak yerine, Kızılötesi enerjiyi doğrudan yüzeye gönderir. Bu yöntem çok hızlıdır. Fanların sıcak havayı yüzeye ilettmesini beklemenize gerek yoktur. Fotonlar malzemeye çarpar, moleküller titreşmeye başlar ve böylece neredeyse anında istenen sıcaklığa ulaşılır.
Derin işlemlerde bu yöntem gerçekten hayat kurtarıcıdır. Eğer şu an konveksiyon fırınında 10 dakikalık bir işlem süresiyle uğraşıyorsanız, Kızılötesi yöntemiyle bu süreyi birkaç saniyeye indirebilirsiniz.
Daha az alan, daha az dağınıklık…
Hava kullanmadığınızda ekipmanlarınızın boyutunu küçültebilirsiniz. Artık o devasa üfleyicilere veya kalın yalıtımlı borulara ihtiyacınız yok. Makineler daha küçük olur ve böylece zeminde daha fazla alan kalır. Ayrıca, bölgesel ısıtma sayesinde wafer’in belirli bir noktasını ısıtarak odanın geri kalanını ısıtmaktan kaçınabilirsiniz.
Ancak bir engel var…
Kızılötesi bir sihir değildir. Yalnızca hedefi “görebildiği” takdirde işe yarar. Eğer parçalarınızın şekli tuhaf veya derin delikleri varsa, radyasyon bu bölgelere ulaşamaz. Her şeyin eşit şekilde ısınmasını sağlamak için hâlâ bazı ısı kaynaklarına ihtiyaç vardır.
Bir uyarı daha: Yüksek yoğunluktaki Kızılötesi lambalar çok fazla ısı üretir. Eğer soğutma ve koruma sistemlerini doğru şekilde ayarlamazsanız sensörleriniz ve kablolarınız zarar görebilir.
Ancak eğer süre uzunluğu sizin için en büyük engelsiyse, Kızılötesi yöntemi en iyi çözümdür. Yavaş ve sıkıcı olan ısıtma işlemini hızlı ve etkili bir şekilde gerçekleştirebilir.