Waferyi ısınmasını bekleyerek zaman kaybetmeyi bırakın.
Eğer bir yarı iletken üretim tesisinde zaman geçirdiyseniz, “bekleme” sürecinin ne kadar can sıkıcı olduğunu bilirsiniz.
Derin işlemlerde en büyük engel genellikle işlem本身的 değil; işlemin başlaması ve bitmesi süreçleridir. Geleneksel zorunlu hava sistemleri oldukça yavaştır. Aslında sadece sıcak gazları odanın içine üflüyorsunuz ve waferin bu gazlardan yeterince faydalanarak işlemi tamamlayabilmesini umuyorsunuz. Bu yöntem çok yavaştır ve verimliliği düşürür.
İşte burada IR ısıtma devreye giriyor. IR ısıtma, önce havayı ısıtmaya çalışmak yerine elektromanyetik radyasyonu doğrudan waferin yüzeyine gönderir. Bu, enerji kullanımı açısından tamamen farklı bir yaklaşımdır.
Neden işe yarar?
Hava, ısıyı iletmekte çok kötü bir malzemedir. Zorunlu hava sistemleri kullanıldığında, odadaki boş alanları ısıtmak için çok fazla enerji harcanır. IR ısıtma ise aracıları ortadan kaldırır; enerji doğrudan waferin yüzeyine ulaşır. Böylece ısınma süresi inanılmaz derecede hızlanır ve her saatte çok daha fazla wafer işlenebilir. Bu, bir odayı ısıtıcıyla ısıtmakla, soğuk bir günde güneşin cildinize vurmasını hissetmek arasındaki fark gibidir.
“Ah, böyle olmamalı” durumu
Ancak IR ısıtmanın da bazı dezavantajları vardır. Çok güçlü olduğu için hedef sıcaklığı aşmak kolaydır. Eğer sensörleriniz ucuz veya hassas değilse, waferlerde aşırı ısınma veya daha kötüsü waferlerin zarar görmesi söz konusu olabilir.
Bunu önlemek için kapalı döngülü geri bildirim sistemleri kullanılır. Bu sistem sayesinde sistem, sıcaklığı gerçek zamanlı olarak algılayabilir ve gücü buna göre ayarlayabilir. Bu, sadece ısı üreten ve en iyisini uman eski ısıtıcılarla kıyasla çok daha etkilidir.
Gerçekler
Eski ekipmanlarınızı değiştirmeden önce şunu unutmayın: IR ısıtma sihirli bir çözüm değildir. Yoğun ısı ürettiği için donanımınız daha fazla stresle karşı karşıya kalır. Özellikle vakum contalarınız ve keçeleriniz bu ani ısı değişimlerinden zarar görebilir. Contalarınızın bu tür durumları kaldırabileceğinden emin olmalısınız.
Ancak üretimi artırmak istiyorsanız IR ısıtma mükemmel bir çözümdür. Büyük hava dolaşımı sistemlerine kıyasla alan kaplaması çok daha azdır ve waferler daha hızlı şekilde işlenir, silikonlar zarar görmez.