На поверхні плати процес висушування фоторезисту зовсім не є пасивним. Навіть незначна зміна температури на 2°C під час м’якого висушування призводить до нерівномірностей по всій площі плати. А нерівномірність під час жорсткого висушування – це пряма дорога до некоректної обробки плати. Крім того, утворення частинок під час термічних циклів може значно знизити якість продукції ще до завершення процесу літографії. Потрібна така система опалення, яка б була передбачуваною, ефективною та швидкою.
Що є важливим з технічної точки зору Ми використовуємо променеві лампи з діапазоном інфрачервоного світла, які забезпечують однорідність температури на рівні менше міліметра. Таким чином температура плати залишається в межах ±0,1°C на всій активній поверхні. Час реагування системи дуже короткий – кілька мілісекунд для нагрівання та охолодження – тож кожен цикл висушування відбувається за однакових умов. Якість продукції залишається стабільною протягом 5 000 годин, при цьому відхилення температури та яскравості світла складає менше 5%. Кварцова оболонка та спеціальна конструкція нитки забезпечують мінімізацію утворення частинок, що є необхідним для роботи в умовах чистої кімнати класу 1–100.
Чому це важливо для літографії Променеві лампи з діапазоном інфрачервоного світла впливають безпосередньо на фоторезист, без нагрівання стінок камери. Це усуває проблеми з температурними затримками та нерівномірністями. М’яке висушування забезпечує однорідність покриття, а жорстке висушування забезпечує чисте висушування без залишку розчинників, що зменшує кількість дефектів та покращує селективність процесу етchingу. Результатом є вища якість продукції після першої обробки, менша кількість необхідних корекцій та менше споживання енергії – короткі цикли, низька теплова маса та стабільні параметри.
Що потрібно пам’ятати Променеві лампи з діапазоном інфрачервоного світла є пристроями, які впливають лише на пряму лінію видимості. Оптична налаштування та відстань між лампою та об’єктом обробки повинні бути точно встановлені, інакше буде порушена однорідність. Виробники повинні переконатися у сумісності цих пристроїв з контролером процесу, механізмом затвора та іншими елементами обладнання. Також необхідно забезпечити належний захист та теплоізоляцію, щоб не пошкодити сусідні компоненти.