Trong quy trình in ấn bằng phương pháp lithography, việc điều chỉnh nhiệt độ sao cho chính xác là rất quan trọng. Nếu nhiệt độ thay đổi chỉ 2 độ C thôi, điều đó cũng có thể gây ra những sai lệch trong chất lượng sản phẩm. Nguồn nhiệt phải được điều chỉnh sao cho phù hợp với đặc tính hóa học của chất liệu photoresist – không được quá cao hay quá thấp. Chỉ cần nhiệt độ được duy trì ở mức chính xác mà thôi.
Những yếu tố quan trọng trong quá trình sản xuất Chúng tôi sử dụng các đèn hồng ngoại phát ra bức xạ sóng ngắn, phù hợp với khả năng hấp thụ ánh sáng của chất liệu photoresist. Nhiệt độ trên bề mặt wafer được duy trì ở mức ±0,1°C, và độ chính xác của nhiệt độ giữa các lần sản xuất nằm trong khoảng ±0,5°C. Cấu trúc của lớp bảo vệ bằng thạch anh và các bộ phận phản chiếu ánh sáng được thiết kế để giảm thiểu sự hình thành các hạt bụi. Hệ thống này được thiết kế để hoạt động trong môi trường sạch cấp độ 1–100. Cường độ ánh sáng duy trì ổn định trong hơn 5.000 giờ, với độ lệch dưới 5%.
Đó chính là lý do tại sao hệ thống này có thể hoạt động ổn định trong quá trình sản xuất.
Các đèn hoạt động 24/7 mà không bị gián đoạn, vì vậy quy trình sử dụng chất liệu photoresist vẫn diễn ra ổn định. Chúng đạt được nhiệt độ mong muốn trong vài giây, và duy trì nhiệt độ đó mà không cần điều chỉnh lại, từ đó giúp tiết kiệm năng lượng. Kết quả là số lượng wafer bị hỏng giảm, việc tái xử lý giảm đi, và việc kiểm soát độ dày lớp in cũng trở nên dễ dàng hơn. Vì nhiệt độ được duy trì ổn định qua các thiết bị khác nhau, nên việc kiểm tra chất lượng sản phẩm cũng diễn ra nhanh chóng hơn.
Một số lưu ý thực tế Khi lắp đặt, cần đảm bảo rằng đèn phù hợp với điện áp, kết nối và kích thước cửa sổ của thiết bị. Cường độ ánh sáng phụ thuộc vào khoảng cách giữa đèn và bề mặt wafer; vì vậy chúng tôi khuyên nên định kỳ điều chỉnh lại máy đo nhiệt độ. Đối với các loại chất liệu photoresist dùng trong bước sóng UV sâu, cần xác nhận lại thông số quang phổ với nhà cung cấp – một số loại chất liệu cần bước sóng hẹp hơn. Nên lên kế hoạch về việc làm mát và xử lý nhiễu điện từ từ sớm, để số lượng hạt bụi và nhiễu điện từ nằm trong giới hạn cho phép.