Hãy ngừng lãng phí năng lượng để làm ấm không khí trong phòng sạch
Nếu bạn từng ở trong phòng sạch dùng cho sản xuất chất bán dẫn, bạn chắc hẳn hiểu rõ những khó khăn mà người ta gặp phải. Việc duy trì nhiệt độ ổn định cho các tấm wafer trong quá trình di chuyển chúng thực chất là cuộc chiến không ngừng để ngăn chặn sự mất nhiệt.
Hầu hết mọi người đều sử dụng máy sưởi loại đối lưu, nhưng vấn đề là chúng dành một nửa thời gian để làm ấm không khí xung quanh các tấm wafer. Điều này gây lãng phí năng lượng khổng lồ và ảnh hưởng tiêu cực đến môi trường.
Chúng tôi quyết định từ bỏ phương pháp sưởi truyền thống và chuyển sang sử dụng hệ thống sưởi bằng tia hồng ngoại. Đó là lý do tại sao chúng tôi sử dụng các thiết bị sưởi bằng tia hồng ngoại trên các xe vận chuyển wafer của mình.
Cách hoạt động của hệ thống này
Hãy tưởng tượng nó giống như ánh nắng mặt trời. Các bộ sưởi bằng tia hồng ngoại không quan tâm đến dòng khí trong phòng. Chúng phát ra bức xạ điện từ, và bức xạ này trực tiếp tác động lên các tấm wafer, biến thành nhiệt ngay lập tức. Vì vậy, bạn không cần phải nâng cao nhiệt độ toàn bộ căn phòng chỉ để giữ ấm các tấm wafer. Khi chúng tôi thay thế phương pháp sưởi bằng không khí áp suất cao bằng phương pháp sưởi bằng tia hồng ngoại, lượng điện tiêu thụ cho mỗi tấm wafer đã giảm đáng kể.
Làm thế nào để tích hợp các thiết bị này vào xe vận chuyển
Không gian trên xe vận chuyển trong phòng sạch rất hạn chế. Bạn không thể lắp đặt những máy sưởi cồng kềnh lên đó được. Để giữ cho thiết bị gọn gàng, chúng tôi sử dụng các bóng đèn thạch anh có mật độ công suất cao. Nhờ đó, bạn vẫn có thể nhận được lượng nhiệt cần thiết mà không bị cản trở bởi các thiết bị cồng kềnh. Chúng tôi cũng sử dụng các bóng đèn chứa halogen để đảm bảo nhiệt độ ổn định theo thời gian. Ngoài ra, chúng tôi còn phủ lớp phủ đặc biệt lên bề mặt thủy tinh, giúp nhiệt được truyền trực tiếp vào các tấm wafer, thay vì làm nóng khung xe vận chuyển.
Những điểm cần lưu ý (và cách khắc phục)
Tuy nhiên, mọi thứ không phải lúc nào cũng hoạt động suôn sẻ. Có một số điều bạn cần lưu ý. Các bóng đèn sưởi bằng tia hồng ngoại sẽ bắt đầu hoạt động trong vài giây thôi. Điều này rất tốt cho tốc độ xử lý, nhưng nó lại gây áp lực lớn lên nguồn điện khi chúng bắt đầu hoạt động. Nếu dây điện của xe vận chuyển quá mảnh, bạn sẽ gặp vấn đề về điện áp. Điều này sẽ khiến nhiệt độ trong phòng không còn ổn định nữa. Hãy đảm bảo rằng hệ thống điện của bạn có thể chịu được áp lực này.
Ngoài ra, các bóng đèn cũng sẽ hỏng theo thời gian, và việc thay thế chúng đòi hỏi thao tác thủ công. Không ai muốn mất bốn giờ để vệ sinh lại xe vận chuyển chỉ vì một bóng đèn hỏng. Chúng tôi đã giải quyết vấn đề này bằng cách sử dụng các đầu nối nhanh. Nhờ đó, kỹ thuật viên có thể thay thế bóng đèn một cách nhanh chóng, giúp duy trì hoạt động của xe vận chuyển và tiết kiệm năng lượng.