Hãy ngừng lãng phí năng lượng để làm ấm không khí trong phòng sạch Nếu bạn từng ở trong phòng sạch dùng cho sản xuất chất bán dẫn, bạn chắc hẳn hiểu...

Trên dây chuyền sản xuất có chiều dài 300mm, sự thay đổi nhiệt độ 0,5°C trong quá trình nung phim fotoresist không chỉ ảnh hưởng đến các chỉ số được...

Trên sàn sản xuất, sai số nửa độ trong nhiệt độ bake không phải là một biến đổi nhỏ. Đó là một wafer bị mất, độ dày photoresist lệch khỏi tiêu chuẩn,...