लिथोग्राफी प्रक्रिया में, “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” ऐसे चरण हैं, जिनमें फोटोरेसिस्ट की विशेषताओं को नियंत्रित किया जाता है। यदि तापमान में दो...

लिथोग्राफी प्रक्रिया में, “बेकिंग” चरण कोई विराम नहीं है… बल्कि यह तो एक सीमा है। फोटोरेसिस्ट का व्यवहार तापमान पर निर्भर है; थोड़े ही डिग्री का अंतर...