Warum wir so viel Wert auf die Überprüfung der Isolierung unserer Waferheizer legen
Wenn man Wafer bei hohen Temperaturen betreibt, ist ein elektrischer Leckstrom das Letzte, was man braucht. Schon eine kleine Funke oder eine störende Stromstärke kann eine ganze Charge Silizium in Sekundenschnelle zerstören. Das ist ein Albtraumszenario.
Deshalb führen wir keine „Stichprobenprüfungen“ durch. Wir prüfen nicht nur einige Geräte und hoffen auf das Beste. Jeder Heizer, der unser Werk verlässt, wird einer vollständigen Überprüfung der Spannungsfestigkeit sowie des Isoliertwiderstands unterzogen. Es gibt keine Ausnahmen. Wenn ein Gerät diesen Prüfungen nicht standhält, wird es nicht versandt.
Die Belastung der Hardware
Tatsache ist: Waferheizer müssen ständig erhitzt und abgekühlt werden – dadurch dehnen und ziehen sich die Materialien ständig aus. Mit der Zeit können dadurch winzige Mikratschäden in der Keramik oder im Quarz entstehen.
Fällt die Isolierung zusammen, fließt Strom in den Rahmen des Geräts. In einem Reinraum bedeutet das nicht nur ein technisches Problem – es stellt auch eine Sicherheitsgefahr für das Personal dar und kann zum Versagen der Geräte führen. Wir verwenden Hochspannungsprüfungen, um diese verborgenen Defekte bereits frühzeitig aufzudecken, anstatt dass sie uns später im Produktionsbetrieb überraschen.
Die Regel „Keine Reparatur möglich“ bei defekter Isolierung
Wir überprüfen den Isoliertwiderstand, um sicherzustellen, dass der Heizelement vollständig vom geerdeten Chassis isoliert ist. Wenn der Wert niedrig ist, bedeutet das in der Regel, dass die Materialien kontaminiert sind oder die Kontakte an den Anschlüssen nicht fest genug sitzen.
Wir sorgen dafür, dass unsere Heizer selbst bei extremen Temperaturen immer noch hohe Werte erreichen. Wenn ein Gerät diese Prüfung nicht besteht, wird es vernichtet. Man kann eine beschädigte Isolierschicht nicht einfach reparieren – entweder ist sie intakt oder sie ist nutzlos.
Ein kleiner Kompromiss für mehr Sicherheit
Um höhere Isolationswerte zu erreichen, müssen wir manchmal dickere Keramikbeschichtungen oder spezielle Lacke verwenden. Dadurch werden die Heizer etwas größer. Zudem dauert es etwas länger, bis sie vollständig erwärmt sind, da mehr Wärmeenergie benötigt wird. Doch dadurch erhalten Sie ein zuverlässiges und sicheres System. Denken Sie einfach daran, wenn Sie die PID-Steuerungen einstellen.
Wir senden Ihnen die Prüfberichte für Ihre jeweilige Seriennummer. So können Sie selbst die genauen Werte für Leckströme und Isoliertwiderstand sehen und sicher sein, dass alles in Ordnung ist, bevor Sie das Gerät anschließen.