Verhindern Sie, dass eine defekte Lampe Ihre gesamte Produktionsmenge zerstört
Beim Hochlastbetrieb der Wafern ist ein Defekt der Lampe ein Albtraum. Es geht nicht nur um die Stillstandszeiten. Stellen Sie sich vor, eine Quarzlampe platzt – Glassplitter und Halogengas fallen direkt auf die Siliziumwafer. Dadurch wird die Produktionsmenge zerstört und der Reinraum wird zu einem Chaos. Das ist eine kostspielige und frustrierende Katastrophe.
Deshalb haben wir Reflektoren entwickelt, die als physische Sicherheitsmaßnahme dienen.
Wie der Reflektor funktioniert
Wir nutzen einen hochreinen Aluminiumreflektor, der zwei Funktionen erfüllt: Zunächst leitet er die Infrarotstrahlung genau dorthin, wo sie benötigt wird. Zweitens fungiert der Reflektor als Schutzkäfig. Der Gehäuseaufbau sorgt dafür, dass die Fragmente der Lampe gefangen werden. Anstatt dass die Fragmente über die Wafer verteilt werden, bleibt der Schaden begrenzt. So ist der Arbeitsalltag viel angenehmer.
Umgang mit der Hitze
Lampen mit hoher Leistung erzeugen starke Temperaturunterschiede. Wenn diese Hitze in die Enden der Lampe zurückstrahlt, verbrennen die Dichtungen. Wir haben bereits gesehen, dass mangelnde Wärmeableitung am Anschluss oft dazu führt, dass die Lampe frühzeitig kaputtgeht.
Um dieses Problem zu beheben, verwenden wir poliertes Aluminium oder vergoldete Oberflächen. Dadurch wird die Hitze von den Elektroden weggeleitet, sodass die Lampe länger funktionieren kann.
Der Kompromiss – und wie man damit umgeht
Das Problem ist: Da der Reflektor etwas Abstand zwischen der Glühfaden und den Wafern schafft, ist die Intensität der Strahlung nicht mehr so hoch wie bei einer normalen Lampe. Sie müssen wahrscheinlich die Leistung etwas erhöhen oder die Wafer etwas länger in der Lampe belassen, um die gewünschten Ergebnisse zu erzielen. Ehrlich gesagt: Das ist ein fairer Kompromiss. Ein paar zusätzliche Sekunden zur Trocknung sind nichts im Vergleich zum Verlust ganzer Chargen an Wafern.
Noch ein Tipp: Achten Sie auf die Kühlfans. Stellen Sie sicher, dass sie richtig angeschlossen sind und genügend Luft zirkulieren lassen. Wenn das Gehäuse des Reflektors zu heiß wird, kann es verformt werden – dann erfüllt der Schutzschild seine Funktion nicht mehr. Sorgen Sie dafür, dass die Luft weiterhin zirkuliert – dann ist alles in Ordnung.