Warum UHP-Infrarotbeleuchtung für das Trocknen von Halbleitern sinnvoller ist
Lassen Sie uns über das Trocknen von Wafern sprechen. Die meisten Menschen sind mit Konvektionsöfen vertraut – Sie wissen schon, diese großen Geräte, die die Luft um den zu trocknenden Gegenstand herum erhitzen. Doch das bedeutet viel Energieverschwendung.
Deshalb verwenden wir UHP-Heizlampen. Anstatt den gesamten Raum zu erhitzen, nutzen diese Lampen kurzwelliges Infrarotlicht, um Lösungsmittel und Feuchtigkeit direkt aus dem Substrat zu entfernen. Das ist effizient und schnell. Im Grunde handelt es sich dabei um eine viel sauberere Methode zum Trocknen von halbleiterbasierten Materialien.
Es geht darum, wohin die Energie fließt.
Wir haben diese Lampen so abgestimmt, dass sie einen bestimmten Spektralpeak erreichen. Einfach ausgedrückt: Sie sind so konzipiert, dass sie „ dieselbe Sprache“ wie die Halbleiterschlämme sprechen – dadurch wird die Wärme sofort vom Material aufgenommen. Man muss nicht warten, bis der ganze Raum auf Temperatur gekommen ist. Die Energie gelangt direkt ins Produkt. Dadurch werden viele Kilowatt pro Wafer eingespart – das ist gut für die Rechnungen und auch für die Umwelt.
Klare Bedingungen – ohne Störungen.
In einer Reinräumumgebung reicht „fast reines“ Material nicht aus. Wenn man Standardglas verwendet, entstehen Probleme – das Glas kann splittern oder Gase abgeben, wodurch Staubteilchen entstehen, die dort nicht hingehören. Deshalb verwenden wir hochwertigen synthetischen Quarz. Zudem haben wir gefährliche Flussmittel sowie bleibasierte Lötstoffe weggelassen. Im Inneren der Lampe befindet sich ein Halogenzyklus, der verhindert, dass der Glühfaden zu schnell ausbrennt. Dadurch bleibt die Leistung über Tausende von Stunden konstant.
Ein kleiner Tipp: Wenn Sie diese Lampen mit maximaler Leistung betreiben, überprüfen Sie unbedingt Ihre Kühlventilatoren. Diese erzeugen viel Wärme – wenn die Luftzirkulation nicht richtig eingestellt ist, können die Gehäuse beschädigt werden.
Aufhören mit den alten thermischen Tunneln.
Beim Einsatz von bleifreien Trocknungsmethoden sind in der Regel höhere Temperaturen erforderlich. Wenn man alte thermische Tunnel benutzt, trocknet man die Komponenten im Prinzip im „Schneckentempo“ – das kann dazu führen, dass empfindliche Teile beschädigt werden. Infrarotlampen erreichen diese hohen Temperaturen in Sekundenschnelle. Man erhält die benötigte Wärme genau dann, wenn sie gebraucht wird – danach ist es vorbei. Es gibt keine Emissionen am Einsatzort, keine endlosen Aufwärmzeiten und auch keine Wärmeabstrahlung in den Werkraum. Es funktioniert einfach.