مقابله با اتلاف انرژی حرارتی در کارخانههای تولید نیمههادی
آیا تا به حال دستتان را روی سطح یک دستگاه گذاشتهاید و دستتان سوخته است؟ این همان مشکلی است که از بخاریهای مادون قرمز استاندارد به وجود میآید؛ زیرا آنها انرژی را در همه جا پخش میکنند.
در فضاهای تنگ کارخانههای تولید نیمههادی، این موضوع واقعاً یک فاجعه است. وقتی که بدنه دستگاه شبیه به یک بخاری عمل کند، نه تنها خطرات ایمنی برای کارکنان وجود دارد، بلکه انرژی بیهوده هدر میرود و احتمالاً کالیبراسیون دستگاههای حساس موجود در نزدیکی آن نیز مختل میشود.
تمرکز انرژی حرارتی
برای حل این مشکل، از لامپهای IR جهتدار استفاده میکنیم. در واقع، به جای لولههای کوارتزی که انرژی را در ۳۶۰ درجه پخش میکنند، این لامپها از منعکسکنندهها و پوششهای ویژه برای تمرکز انرژی در یک جهت خاص استفاده میکنند.
انرژی مستقیماً به روی ویفر هدایت میشود.
با کاهش زاویه پخش انرژی، میتوانیم از نفوذ گرمای اضافی به دیوارههای صندوقک دستگاه جلوگیری کنیم. در نتیجه، دمای دقیق مورد نیاز در همان محل تأمین میشود، بدون اینکه کل بدنه دستگاه به یک رادیاتور تبدیل شود.
معایب این روش
البته، یک مشکل نیز وجود دارد؛ چون تمام انرژی در یک نقطه متمرکز میشود، خود لامپ نیز بسیار داغ میشود – خیلی داغتر از بخاریهای معمولی.
نمیتوانید این لامپها را به سادگی نصب کنید؛ باید مطمئن شوید که محل نصب آنها قادر به تحمل چنین دمای بالایی باشد. همچنین، باید جریان هوای مناسبی برای خنک کردن بدنه دستگاه فراهم کنید، حتی اگر بقیه قسمتهای صندوقک دستگاه خنک باقی بماند.
چرا این موضوع مهم است؟
وقتی از روش گرمایش جهتدار استفاده میکنیم، دیگر نیازی نیست نگران عایقبندی دیوارههای داخلی دستگاه باشیم؛ این کار، ساختار کلی دستگاه را سادهتر میکند.
در عوض مبارزه با گرمای ناخواسته، انرژی را دقیقاً در همان محلی قرار میدهیم که کار انجام میشود. در نتیجه، بدنه دستگاه در امان میماند، کارکنان راضی هستند، و سیستم تهویه هوای کارخانه نیز مجبور نیست برای جلوگیری از گرم شدن بیش از حد اتاق، کار بیشتری انجام دهد.