حفظ ایمنی هنگام استفاده از تابش مادون قرمز برای تمیزکاری شیمیایی
اگر در خطوط تمیزکاری نیمههادی کار میکنید، میدانید که چه چیزهایی در معرض خطر هستند. شما با بخارات شیمیایی کار میکنید؛ این بخارات در صورت وجود جرقه، میتوانند خطرناک باشند. قرار دادن یک عنصر گرمایشی درون این محیط، به معنای ایجاد فاجعه است.
برای جلوگیری از انفجار، از لامپهای مادون قرمز پوشیده شده با طلا استفاده میکنیم. این روش شاید پیچیده به نظر برسد، اما هدف اصلی آن این است که از شعلهور شدن لامپ جلوگیری شود.
چرا طلا و پوشش لامپ اهمیت دارند؟
لولههای کوارتز معمولی، گرما را در همه جا پخش میکنند؛ در یک اتاق پر از بخارات فرار، این موضوع مشکل بزرگی ایجاد میکند. این گرما میتواند بخشهای نامناسب را بیش از حد گرم کند یا منجر به اشتعال بخارات شود.
با پوشاندن پشت لوله با طلا، در واقع یک آینه ایجاد میکنیم؛ تمام انرژی مادون قرمز به سمت ویفر هدایت میشود. این کار باعث میشود پشت لوله خنک بماند؛ که دقیقاً همان چیزی است که میخواهیم.
اما پوشش طلا تنها نیمی از راه حل است؛ ما کل لامپ را در یک محفظه ضدانفجار قرار میدهیم. چرا؟ چون اگر محفظه نشت کند و بخارات به لامپ گرم برخورد کنند، خطر آتشسوزی وجود دارد. ما این لامپها را طوری طراحی کردهایم که چنین اتفاقی رخ ندهد.
مشکلات مربوط به لامپهای پوشیده شده با طلا
لامپهای پوشیده شده با طلا، کارایی بیشتری دارند و گرمای بیشتری تولید میکنند؛ اما کامل نیستند. ساخت آنها نیز دشوارتر است.
اگر پوشش لامپ کمی ناهموار باشد، «نقاط گرم» ایجاد میشود؛ این نقاط میتوانند باعث سوختن لامپ شوند. به همین دلیل، ما بر ضخامت پوشش لامپ تأکید زیادی داریم؛ باید این پوشش کاملاً یکنواخت باشد.
یک نکته دیگر: مراقب منبع تغذیه لامپ باشید؛ اگر ولتاژ ناگهانی ایجاد شود، میتواند لوله کوارتز را خراب کند یا فیلامنت لامپ را بشکند. در محیطهای شیمیایی، خراب شدن لامپ نه تنها مشکلات تعمیراتی ایجاد میکند، بلکه خطرات ایمنی نیز دارد.
نصب لامپها در خطوط تمیزکاری
ما این لامپها را به گونهای طراحی کردهایم که بتوانند جایگزین لامپهای معمولی در مراحل تمیزکاری و خشک کردن شوند.
از آنجایی که انرژی توسط این لامپها منعکس میشود و هدر نمیرود، نیازی به مقدار زیادی انرژی برای رسیدن به دمای مورد نظر نیست. علاوه بر این، این روش فشار زیادی را از روی سیستم خنککننده تأسیسات برمیدارد. این روش، روشی هوشمندانه برای مدیریت گرماست.