در خط تولید، فرآیندهای پخت نرم و سخت، جایی هستند که الگوهای لازم برای تولید ویفرها تعیین میشوند. اگر دما ۱ درجه سانتیگراد تغییر کند، یا اگر نقاط داغی روی سطح ویفر وجود داشته باشد، ابعاد حیاتی ویفر دچار تغییر خواهند شد. در واقع، کیفیت ویفر قبل از اینکه وارد محفظه اتشزدایی شود، کاهش مییابد.
از نظر فنی، چه چیزهایی اهمیت دارند؟ ما لامپ مادونقرمز بدون اسید ازنی را با استفاده از تابش مادونقرمز و ساختار کوارتز-هالوژن ساختیم؛ این ساختار در محدوده دمایی مناسب برای نیمههادیها عمل میکند. در نتیجه، یکنواختی دمایی در سراسر سطح ویفر حاصل میشود؛ کنترل دما نیز در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد انجام میشود. عدم وجود اسید ازن به معنای عدم وجود اکسیدانهای اضافی در هوای اتاقهای تمیز است؛ همچنین، هیچ واکنش شیمیایی ناخواستهای در حین پخت ویفر رخ نمیدهد. خروجی لامپ در طول ۵٬۰۰۰ ساعت کار، در محدوده ۲٪ ثابت باقی میماند؛ همچنین، نرخ تغییر دما نیز در هر چرخه کاری یکسان است.
چرا این روش در فرآیند لیتوگرافی مؤثر است؟ دمای پخت نرم، باعث حذف محلولها و کاهش تنش در لایههای روی ویفر میشود؛ دمای پخت سخت نیز، میزان چسبندگی و مقاومت لایهها در برابر اتشزدایی را تعیین میکند. این لامپ، همان الگوی حرارتی را بر روی ویفرهای مختلف ایجاد میکند؛ بنابراین کنترل ابعاد ویفر و جلوگیری از تغییرات در آن امکانپذیر است. این لامپ مناسب برای اتاقهای تمیز کلاس ۱-۱۰۰ است؛ زیرا مواد مورد استفاده در آن، کنترل شدهاند و انتشار گازها نیز کم است. در نتیجه، تعداد ویفرهای با کیفیت پایین کمتر میشود، کارهای تکراری کمتر انجام میشود، و مصرف انرژی نیز قابل پیشبینی است؛ زیرا تابش مادونقرمز به خوبی در لایههای فوتورزیست وارد میشود.
چه چیزهایی را باید در نظر بگیرید؟ برای نصب این لامپ، باید خط دید به سمت سطح ویفر حفظ شود؛ همچنین، مسیر حرارتی باید تمیز و منعکسکننده باشد. هرگونه مانعی میتواند باعث ایجاد سایههایی روی سطح ویفر شود. این لامپ زمانی بهترین عملکرد را دارد که دمای آن با باند جذب ماده زیرلایه هماهنگ باشد؛ بنابراین، اگر فرآیند تولید تغییر کند، لازم است تنظیمات مربوط به شدت نور و زمان کارکرد لامپ نیز تغییر کند. برای رسیدن به تعادل حرارتی، به این لامپ ۳۰ دقیقه زمان لازم است؛ این کار باعث میشود که عملکرد لامپ پایدار باقی بماند.