در فرآیند لیتوگرافی، مراحل پختن نرم و سخت، جایی هستند که پروفایل خصوصیات فوتورزیست تعیین میشود. اگر دما حتی دو درجه تغییر کند، منجر به نوسانات در کیفیت CD و ایجاد لکههای روی سطح ویفر خواهد شد. منبع گرما باید با ویژگیهای شیمیایی فوتورزیست هماهنگ باشد؛ هیچ اختلافی در دما وجود نباید. همیشه باید پروفایل حرارتی مناسبی وجود داشته باشد.
چه چیزهایی اهمیت دارند؟ ما از لامپهای مادون قرمز استفاده میکنیم؛ این لامپها انرژی موج کوتاهی تولید میکنند که با نحوه جذب انرژی توسط فوتورزیست هماهنگ است. دمای سطح ویفر در سراسر سطح پختن، در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد ثابت میماند؛ همچنین، تکرارپذیری دما نیز در حد ±۰.۵ درجه سانتیگراد از یک سری تولید به سری دیگر است. ساختار کوارتزی و رفلکتورها به گونهای طراحی شدهاند که تولید ذرات کاهش یابد؛ همچنین، این سیستم برای استفاده در اتاقهای پاک با کلاس ۱ تا ۱۰۰ مناسب است. شدت نور تولید شده، در طول بیش از ۵٬۰۰۰ ساعت کار، ثابت باقی میماند؛ اختلاف شدت نور نیز کمتر از ۵٪ است.
دلیل این است که این سیستم در فرآیند تولید مقاومت خوبی دارد. لامپها به طور مداوم و بدون هیچ وقفهای کار میکنند؛ بنابراین، فرآیند فوتورزیست به خوبی انجام میشود. لامپها در عرض چند ثانیه به دمای مورد نظر میرسند و آن را حفظ میکنند؛ بنابراین مصرف انرژی کاهش مییابد. نتیجه این است که تعداد ویفرهای باکیفیت بیشتری تولید میشود، کارهای تکراری کمتری انجام میشود، و کنترل عرض خطوط نیز بهتر خواهد بود. همچنین، از آنجایی که پروفایل حرارتی در تمام دستگاهها یکسان است، فرآیند تأیید کیفیت سریعتر انجام میشود و انتقال فرآیند نیز قابل تکرار خواهد بود.
نکات عملی: برای نصب لامپ، باید ولتاژ، اتصالات و ابعاد دهانه لامپ با ویژگیهای دستگاه هماهنگ شود. شدت نور تولید شده، به فاصله لامپ از سطح ویفر وابسته است؛ بنابراین، ما محدودیتهای مربوط به فاصله لامپ از سطح ویفر را مشخص کردهایم و توصیه میکنیم که پیرامترهای مربوط به دما به طور دورهای تنظیم شوند. برای فوتورزیستهای مخصوص نور مادون بنفش، باید از تأمینکننده خود تأیید کنید که طیف نور مناسب است یا خیر؛ برخی از فوتورزیستها نیاز به طیف نوری محدودتری دارند. همچنین، باید از قبل برای خنککردن و کنترل نویز الکترومغناطیسی برنامهریزی کرد؛ تا تعداد ذرات و نویز الکترومغناطیسی در حد مجاز باقی بماند.