جلوگیری از خسارت ناشی از سوختن لامپ به کل محصولات تولید شده
هنگامی که در حال فرآیند خشککردن ویفرها با توان بالا هستید، سوختن لامپ میتواند یک فاجعه باشد. مشکل فقط در زمان توقف فرآیند نیست؛ بلکه شکستن لامپ میتواند باعث آسیب به ویفرها و همچنین آلوده شدن اتاقهای تمیز شود. این موضوع میتواند منجر به خسارات سنگین و ناامیدکنندهای شود.
به همین دلیل، ما رفلکتورهایی طراحی کردهایم که نقش یک سد ایمنی فیزیکی را ایفا کنند.
نحوه عملکرد رفلکتورها
ما از رفلکتورهای آلومینیومی با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ این رفلکتورها دو کار را به طور همزمان انجام میدهند. اولاً، تشعشعات مادون قرمز را به جای مناسب خود هدایت میکنند؛ دوماً، نقش یک سد را ایفا کرده و از پرتاب تکههای شکسته لامپ به سمت ویفرها جلوگیری میکنند. در نتیجه، فرآیند تولید دچار اختلال نمیشود.
مقابله با گرما
لامپهایی با توان بالا، گرمای زیادی تولید میکنند؛ اگر این گرما به انتهای لامپ برگردد، میتواند باعث آسیب به لامپ شود. ما شاهد چنین مشکلاتی بودهایم؛ معمولاً مشکلات مربوط به تخلیه گرما، باعث خراب شدن لامپ میشود.
برای رفع این مشکل، از رفلکتورهای آلومینیومی یا طلاکوب شده استفاده میکنیم؛ این رفلکتورها گرما را از الکترودها دور میکنند و باعث میشوند لامپ برای مدت طولانیتری کار کند.
تعادل بین کارایی و هزینهها
البته، این رفلکتورها باعث ایجاد فاصله کمی بین رشتههای لامپ و ویفرها میشوند؛ بنابراین شدت تشعشعات لامپ کمی کاهش مییابد. احتمالاً لازم است توان لامپ را کمی افزایش دهید یا ویفرها را برای مدت طولانیتری در معرض تشعشعات لامپ قرار دهید. صادقانه بگوییم، این یک تعادل مناسب است؛ چند ثانیه اضافی برای فرآیند خشککردن، در مقایسه با هزینههای ناشی از از بین رفتن کل محصولات تولید شده، چیزی نیست.
یک نکته دیگر: مراقب فنهای خنککننده لامپ باشید؛ مطمئن شوید که به درستی به برق متصل هستند و هوای کافی را جابجا میکنند. اگر رفلکتور بیش از حد گرم شود، میتواند دچار تغییر شکل شود؛ در این صورت، رفلکتور دیگر نمیتواند نقش خود را ایفا کند. با حفظ جریان هوا، مشکلی پیش نخواهد آمد.