Berhentilah memanaskan mesin Anda, dan mulailah memanaskan wafer-nya saja.
Sebagian besar lampu inframerah standar menghasilkan panas ke segala arah—360 derajat. Hal ini menjadi masalah serius ketika digunakan pada peralatan semikonduktor yang memiliki ruang yang terbatas. Sebagian besar panas tersebut bahkan tidak sampai menyentuh wafer. Panas tersebut justru mengenai dinding bagian dalam peralatan tersebut. Akibatnya, muncul “zona panas” di permukaan peralatan yang dapat merusak komponen-komponen sensitif atau bahkan membahayakan para pengoperasikan peralatan tersebut. Tentu saja ini bukan hal yang ideal.
Cara yang tepat adalah dengan menggunakan sistem pemanasan yang terarah.
Alih-alih menggunakan tabung kuarsa biasa, kami menggunakan reflektor dan lapisan khusus untuk mengarahkan energi inframerah ke tempat yang dituju. Bayangkan saja seperti beralih dari lampu biasa ke senter. Dengan cara ini, sinar panas dapat dikonsentrasikan di tempat yang tepat, sehingga casing mesin tidak lagi berfungsi sebagai radiator raksasa.
Untuk tahap pencucian wafer, situasinya berbeda. Di sana ada uap kelembapan dan zat kimia yang beredar. Jika menggunakan lampu standar, kemungkinan besar lampu tersebut akan rusak atau korosif akibat kondisi lingkungan yang lembap. Itulah sebabnya kami menggunakan seal tahan air dan lapisan pelindung yang tahan kelembapan. Dengan begitu, peralatan tersebut dapat digunakan di lingkungan berkemampuan tinggi tanpa perlu khawatir akan kerusakan listrik atau keausan lampu yang terlalu cepat.
Beberapa hal yang perlu diperhatikan:
Sistem pemanasan terarah memang lebih efisien, tetapi cara kerjanya berbeda. Karena energi panasnya sangat terkonsentrasi, gradien suhu pun menjadi lebih tajam. Jika permukaan wafer tidak rata atau jarak fokusnya sedikit tidak tepat, maka akan muncul titik-titik panas di permukaan wafer. Anda tidak bisa sekadar menetapkan pengaturan saja—Anda perlu memastikan jarak dan sudut penempatan lampu dengan tepat agar panasnya merata.
Mengenai proses pemasangan? Sangat mudah. Kami merancang peralatan ini agar dapat digunakan sebagai pengganti array IR standar. Pastikan saja bahwa suplai daya Anda mampu menangani daya yang dibutuhkan oleh peralatan ini, lalu Anda siap untuk menggunakannya.