Mengurangkan Pelepasan Karbon di Kilang Semikonduktor: Mengapa Penggunaan Pemanas Inframerah Berkesan
Jika anda ingin menjadikan kilang semikonduktor anda bebas karbon, anda perlu berhenti bergantung pada pemanas jenis resistif yang lama. Pemanas tersebut sangat membuang tenaga.
Kami kini menggunakan lampu pemanas inframerah untuk alat-alat pemprosesan wafer. Sebabnya mudah: cahaya inframerah dapat menyejuk permukaan wafer secara langsung. Dengan cara ini, tiada tenaga yang dibazirkan untuk memanaskan seluruh bilik pemprosesan hanya untuk memanaskan wafer. Ini merupakan cara yang lebih efisien untuk menggunakan tenaga.
Semuanya berkaitan dengan kelajuan.
Sistem inframerah menggunakan radiasi gelombang pendek. Daripada menunggu udara panas terlebih dahulu, foton akan sampai ke permukaan wafer dengan segera. Proses ini sangat cepat. Kami mengatur sistem ini agar suhu yang diinginkan dapat dicapai dalam masa beberapa saat sahaja. Ini bermakna penggunaan tenaga untuk setiap wafer menjadi lebih sedikit.
Selain itu, dengan menggantikan ketuhar konvensional dengan sistem inframerah, beban haba yang perlu diproses juga berkurangan. Dengan itu, tenaga yang diperlukan untuk mengekalkan suhu stabil juga berkurangan.
Namun, ada satu masalah: anda tidak boleh sekadar “menetapkan suhu dan melupakan segalanya”. Jika anda ingin mencapai sasaran hijau tersebut, suhu tidak boleh melebihi had yang ditetapkan. Itulah sebabnya kami menggunakan sensor yang sensitif untuk memantau suhu. Sensor tersebut akan mengawal aliran tenaga sebaik sahaja suhu wafer mencapai tahap yang ditetapkan. Jika tetapan PID tidak betul, bukan sahaja tenaga akan dibazirkan, malah wafer juga boleh rosak. Dan tentunya tiada siapa yang mahu perkara ini berlaku.
Keseimbangan yang perlu diketahui.
Lampu inframerah ini memang sangat berkuasa. Ini bagus untuk meningkatkan kadar pengeluaran, tetapi ia juga memberi tekanan yang besar pada sistem penyejukan. Anda tidak boleh sekadar memasang lampu ini ke dalam alat lama tanpa memastikan sistem penyejukan cukup kuat. Jika tidak, rangka alat tersebut mungkin akan rosak.
Kami melihat hasil yang terbaik dalam projek “Pabrik Hijau” apabila kilang-kilang menggantikan sistem penyejukan lama dengan sistem inframerah yang lebih efisien. Ini mungkin merupakan cara paling efektif untuk mengurangkan jejak karbon tanpa menjejaskan kualiti pengeluaran.