Pada permukaan litar tersebut, perubahan suhu atau proses pemanasan yang lambat boleh merosakkan hasil pengeluaran yang sepatutnya stabil. Proses pengeringan wafer, pembakaran lembut, dan pembakaran keras semuanya memerlukan haba yang konsisten, cepat, dan bersih. Kami menggunakan mentol halogen kuarsa inframerah gelombang pendek untuk memastikan kawalan suhu yang tepat, tanpa perlu membayar harga yang mahal.
Apa yang penting di sebaliknya
Kami menggunakan mentol halogen kuarsa inframerah gelombang pendek untuk memindahkan tenaga dengan cepat dan efektif. Masa tindak balasnya adalah dalam masa sub-saat, jadi profil suhu dapat dikawal dengan tepat. Ini sangat penting apabila kita ingin melindungi struktur lapisan tipis dan filem berkepadatan rendah. Di seluruh permukaan wafer, output lampu diselaraskan agar suhunya tetap sama pada tahap ±0.1°C di permukaan photoresist. Ini memastikan dimensi kritikal dan sudut sisi wafer tetap konsisten.
Badan mentol ini sesuai digunakan dalam bilik bersih kelas 1–100, dengan hujung yang tertutup rapat dan bahan yang tidak menghasilkan gas, supaya jumlah zarah debu dapat dikawal. Output lampu tetap stabil selama lebih dari 5,000 jam, dengan perubahan intensiti kurang dari 5%. Dengan ini, proses pengeluaran tidak akan terganggu walaupun lampu diganti.
Mengapa ia sesuai untuk penggunaan dalam pengeluaran
Kelebihannya adalah praktikal. Kitaran pembakaran yang lebih cepat meningkatkan kelajuan pengeluaran dan mengurangkan penggunaan tenaga. Kawalan suhu yang baik pula mengurangkan keperluan untuk mereproduksi workpiece, sekali gus mengurangkan penggunaan bahan kimia dan kerugian hasil pengeluaran. Mentol yang sama juga dapat digunakan untuk mengeringkan wafer dengan cepat, sehingga mengurangkan risiko adanya kecacatan sebelum proses litografi. Penggantian mentol juga mudah, sekali gus mengurangkan masa henti yang tidak dirancang dan memudahkan penyelenggaraan.
Butiran yang memastikan tiada masalah
Mentol ini sesuai dipasang dalam housing standard OEM. Sebelum memesan, pastikan jenis konektor, panjang housing, dan voltannya sesuai. Untuk mendapatkan keseragaman yang terbaik, pastikan geometri reflektor sesuai, dan jarak antara lampu dan permukaan wafer berada dalam julat yang ditetapkan. Rawat mentol tersebut dengan cara yang betul dalam bilik bersih—jejak jari dan minyak boleh menyebabkan masalah pada output lampu. Gunakan mentol tersebut pada kuasa yang ditetapkan, agar hasil pembakaran tetap konsisten dari satu syif ke syif yang lain.