Üretim alanında, yumuşak pişirme ve sert pişirme işlemleri esnasında desenler gerçek anlamda belirlenir. Sadece 1°C’lik bir sapma bile olursa veya yonga üzerinde sıcak noktalar oluşursa, kritik boyutlar değişmeye başlar. Yonga henüz aşındırma odasına girmeden önce verimlilik düşer.
Teknik açıdan önemli olanlar Ozonsuz kızılötesi lambayı, yakın kızılötesi ışınım ve yarı iletkenlerin termal özellikleri göz önünde bulundurularak tasarladık. Böylece yonganın her yerinde milimetrenin altında bir termal düzgünlük sağlanır; ayar noktası ise ±0,1°C civarında tutulur. Ozon olmadığı için temiz odadaki havada ekstra oksitleyiciler bulunmaz ve pişirme işlemi sırasında fotoresiste istenmeyen kimyasallar karışmaz. Lambanın çıkışı 5.000 saatten fazla bir süre boyunca %2’lik bir dalgalanma içinde kalır ve çalışma hızları döngüden döngüye sabit kalır.
Litografide neden işe yarar? Yumuşak pişirme sıcaklığı, çözücülerin uzaklaştırılmasını ve filmin gerilimini kontrol eder. Sert pişirme sıcaklığı ise yapışma gücünü ve aşındırma direncini belirler. Lamba, 200. yongada da ilk yongada olduğu gibi aynı ısı profilini sağlar; böylece CD kontrolü ve desenlerde herhangi bir değişiklik olmaz. Partikül kontrolü yapılan malzemelerle ve düşük gaz salınımıyla birlikte bu lamba Class 1–100 temiz odalarında da kullanılabilir. Daha az atık üretilir, daha az yeniden işleme gerekiyor ve enerji tüketimi de öngörülebilir durumdadır; çünkü NIR ışınları fotoresiste etkili bir şekilde nüfuz eder.
Planlamanız gerekenler Montaj sırasında yonga yüzeyine doğru görüş açısının sağlanması ve temiz, yansıtıcı bir ısı iletim yolunun oluşturulması gerekmektedir. Herhangi bir engel olursa gölgelenme meydana gelir. Lamba, substratın emilim bandına uygun olduğunda en iyi performansı gösterir; bu yüzden işlem değiştirildiğinde yoğunluk ve çalışma süresinde küçük ayarlamalar yapılması gerekebilir. Termal dengeye ulaşmak için 30 dakikalık bir ısınma süresi gereklidir.