На поверхні плитки саме тут визначається кінцевий вигляд продукту – під час процедур м’якого та жорсткого випалювання. Якщо температура зміниться на 1°C, або якщо точка найвищої температури буде рухатися по поверхні плитки, то її критичні розміри почнуть змінюватися. Це призводить до зниження якості продукту ще до того, як плитка потрапить у камеру для етchingу.
Що має значення з технічної точки зору
Ми створили інфрачервону лампу без озону, яка базується на випромінюванні в діапазоні близького інфрачервоного світла та використовує кварцово-галогенну конструкцію, яка дозволяє підтримувати температуру в межах, передбачених для напівпровідників. Це забезпечує однорідність температури на всій поверхні плитки з точністю до ±0,1°C. Відсутність озону означає відсутність додаткових окислювачів у повітрі в чистій кімнаті, а також відсутність небажаних хімічних реакцій під час процедури випалювання. Ефективність лампи залишається стабільною протягом 5 000 годин, а швидкість зміни температури залишається постійною з кожним циклом.
Чому це ефективно у процесі літографії
Температура м’якого випалювання сприяє видаленню розчинників та зменшенню напруги в плівці. Температура жорсткого випалювання визначає ступінь адгезії та стійкість плівки до етchingу. Лампа забезпечує однаковий профіль температури як на 200-й плитці, так і на першій, тож контроль розмірів та їх точності не змінюється. Лампа підходить для використання в чистих кімнатах класу 1–100, де контролюється кількість частинок у повітрі та рівень випаровування речовин. Це зменшує кількість бракованих виробів, необхідність корекцій та енергоспоживання, оскільки інфрачервоне випромінювання ефективно впливає на фоторезист.
Що потрібно врахувати під час встановлення
Під час встановлення необхідно забезпечити прямий вид на поверхню плитки та чистий, відбивний тепловий шлях. Будь-які перешкоди можуть призвести до появи тіней. Лампа працює найкраще, коли її температура відповідає діапазону поглинання матеріалу плитки. Тож, якщо змінюється процес виробництва, може знадобитися незначна корекція інтенсивності та часу роботи лампи. Необхідно дати лампі 30 хвилин на нагрівання, щоб досягти термодинамічної рівноваги та забезпечити стабільність результатів.