别再为真空室加热了——直接给工件加热吧！
传统的红外灯会产生大量热量，这些热量会向各个方向散射。在真空环境中工作时，这种情况简直就是一场噩梦。实际上，这些热量都被浪费掉了，而且还会让真空室的内壁变得异常高温。这不仅浪费能源，还可能对附近的人造成安全威胁。
我们的解决方法是什么？ 我们使用定向加热技术。可以把它想象成从使用普通灯泡换成手电筒。通过特殊的反射器和涂层，我们可以将能量精准地输送到需要加热的位置——也就是芯片或基材上。这样一来，就不会有360度的全方位加热，而是形成一股集中的热束。这样，工件就能得到适当的加热，而真空室的内壁则保持低温状态。
难点所在 我们通常选择短波石英卤素元件。这类元件的优点是能够深入物体内部，并迅速产生热量。不过，也有缺点：由于热量过于集中，焦点处的能量密度非常高。如果冷却系统无法承受这样的热量，那么灯的密封部件就可能会损坏，或者支架也会变形。因此，必须确保光束的角度不会超过冷却系统的处理能力。
保障工作场所的安全 当真空室的内壁保持低温时，机器的外部也就不会变成一个巨大的加热源。我在半导体加工设备上经常看到这种情况。我们称之为“隐形加热”——设备的表面会变得非常热，甚至无法触碰。这种情况既令人沮丧，又充满危险。而使用定向加热装置就可以避免这种浪费热量的问题。这样一来，工作人员的安全就能得到保障，同时，空调系统也不必过度工作来维持室内温度。其实很简单：停止热量分散，让光束集中起来，这样就能让内壁保持低温状态。