V prostoru určeném k litografii se pomocí procesů „měkkého“ a „tvrdého“ vypalování fixuje profil fotoresisty. I když dojde k odchylce teploty o pouhé dva stupně, může to vést k variacím v kvalitě výrobku. Zdroj tepla musí odpovídat chemickým vlastnostem fotoresistu – žádné nadměrné ani nedostatečné zahřívání. Vždy musí být dosažen správný tepelný profil.
Co je důležité pod povrchem
Používáme infračervené lampy, které vyzařují krátkovlnnou energii přizpůsobenou způsobu absorpce světla fotoresistem. Spektrální výstup je nastaven tak, aby odpovídal místům, kde fotoresist skutečně reaguje. Na povrchu plochy určené k vypalování je rovnoměrnost teploty na úrovni ±0,1 °C, přičemž opakovatelnost hodnoty teploty zůstává v rozmezí ±0,5 °C mezi jednotlivými seriami. Kvartová obálka a geometrie reflektorů jsou navrženy tak, aby se minimalizovalo vznikání částic. Systém je vhodný pro provozy s klasifikací čistoty 1–100. Výstupní intenzita zůstává stabilní po dobu více než 5 000 hodin, přičemž odchylka intenzity nepřesahuje 5 %.
Proč to funguje v průmyslové výrobě
Lampy fungují 24/7 bez plánovaných přestávek, takže proces zpracování fotoresistu zůstává efektivní. Dosahují požadované teploty během několika sekund a udržují ji bez nutnosti opakovaného nastavování, čímž se snižuje spotřeba energie. Výsledkem je méně zmetků, méně oprav a spolehlivá kontrola šířky linie. A protože tepelný profil zůstává konzistentní mezi různými nástroji, je kalibrace rychlejší a přenos procesu zůstává opakovatelný.
Několik praktických tipů
Při instalaci je potřeba sladit napětí lampy s napětím nástroje, velikost konektoru a otvorů. Intenzita výstupního světla závisí na vzdálenosti mezi lampou a substrátem, proto uvádíme tolerance této vzdálenosti a doporučujeme pravidelnou kalibraci pyrometru. U fotoresistů určených pro hluboké UV záření je potřeba ověřit spektrální shodu s dodavatelem – některé formulace vyžadují užší spektrální rozsah. Je také důležité předem naplánovat chlazení a umístění zařízení proti rušení, aby počet částic a jejich interference zůstaly v normách.