Hören Sie auf, die Luft zu erhitzen – eine bessere Methode zur Herstellung von Biosensoren
Wenn Sie schon einmal Zeit in einem Halbleiterreinraum verbracht haben, wissen Sie, wie problematisch konventionelle Heizöfen sind. Sie arbeiten langsam, sind sperrig – und verschwenden außerdem eine unglaubliche Menge an Energie, nur um eine große Menge an Luft zu erhiten, die eigentlich gar nicht so warm sein muss.
Bei der Herstellung von Biosensoren ist eine präzise Temperaturregelung wichtig – schließlich muss das Material richtig gehärtet und getrocknet werden. Deshalb haben wir uns für Infrarotlampensysteme entschieden. Das ist einfach eine effektivere Methode.
Die Wärme genau dorthin bringen, wo sie benötigt wird
Das Ziel ist einfach: Die gewünschte Temperatur auf der Oberfläche des Wafers erreichen und danach wieder aufhören zu heizen. Mit Kurzwellen-Infrarotstrahlung muss man nicht darauf warten, dass der Raum langsam erwärmt wird. Die Energie gelangt direkt in das Substrat. Da man nicht mit der hohen thermischen Masse eines großen Ofens kämpfen muss, werden die Aufwärmzeiten minimiert. Es geht also schnell – wirklich schnell. Das verändert den gesamten Ablauf des Produktionsprozesses.
Einfache Integration in Ihre Anlage
Wir haben diese Infrarotlampen so konzipiert, dass sie als Ersatz für die alten Heizelemente verwendet werden können. Man muss keine ganze Anlage neu aufbauen – es reicht aus, die alten Heizelemente auszutauschen. Wir verwenden Lampen mit hoher Leistungsdichte, damit der Platzbedarf minimal bleibt. Wenn die Heizzone kleiner ist, kann auch die Vakuumkammer oder die Atmosphärenkammer kleiner sein. Wie jeder weiß, der bereits einen Reinraum betrieben hat, bedeutet eine kleinere Kammer weniger Lecks und weniger Belastung für die Vakuumpumpen. Das ist ein echter Vorteil.
Achtung: Die Stromversorgung muss zuverlässig sein
Wenn die Spannung schwankt, können die Glühfäden kaputtgehen – oder noch schlimmer: Die Temperatur im Sensorarray wird ungleichmäßig. Wir empfehlen immer die Verwendung von PID-Steuerungen. Dadurch bleibt die Temperatur stabil und überschreitet nicht die gewünschte Marke.
Der Kompromiss bezüglich des Kohlenstoffausstoßes
Der Umstieg auf Infrarotlampen ist zwar gut für den Kohlenstoffausstoß – es gibt keinen „Aufwärmzeitraum“. Doch diese Lampen geben viel Strahlungswärme ab. Wenn man nicht vorsichtig ist, kann diese Wärme auf die umliegenden elektronischen Komponenten übergehen. Man muss daher die Kühlsysteme richtig einstellen. Andernfalls versagen die Roboter, die mit den Sensoren arbeiten, viel früher, als es nötig wäre. Zudem muss das Lüftungssystem härter arbeiten, um der Umgebungswärme entgegenzuwirken – und dadurch gehen die gerade erzielten Einsparungen verloren.