Hentikan penggunaan cara pemanasan biasa, dan gunakan cara pemanasan yang lebih efektif untuk wafer tersebut.
Kebanyakan lampu inframerah biasa menghasilkan haba ke semua arah – 360 darjah. Apabila digunakan dalam alat-alat semikonduktor yang memerlukan ruang yang sempit, ini menjadi masalah besar. Sebahagian besar haba tersebut tidak sampai ke wafer sama sekali; sebaliknya, ia memanaskan dinding dalaman peralatan tersebut. Ini akan menyebabkan “zon panas” pada badan peralatan, yang boleh merosakkan komponen-komponen sensitif atau bahkan membahayakan pengendali peralatan tersebut. Ini bukanlah situasi yang baik.
Cara yang lebih baik adalah menggunakan sistem pemanasan yang berarah.
Daripada menggunakan tiub kuarsa biasa, kita gunakan reflektor khas serta lapisan pelindung untuk mengarahkan tenaga inframerah ke tempat yang tepat. Bayangkan saja seperti perbezaan antara mentol lampu biasa dengan lampu suluh. Dengan cara ini, kita dapat menumpukan haba di tempat yang diperlukan sahaja, dan mengelakkan badan peralatan daripada berfungsi sebagai radiator yang besar.
Bagi proses pencucian wafer pula, keadaannya berbeza. Terdapat kelembapan dan wap kimia di sana. Jika kita gunakan lampu biasa, ia mungkin akan rosak dengan cepat akibat kelembapan tersebut. Itulah sebabnya kita menggunakan penutup tahan air dan lapisan pelindung yang tahan kelembapan. Dengan cara ini, peralatan tersebut boleh digunakan dalam persekitaran yang lembap tanpa risiko kerosakan elektrik atau lampu yang cepat rosak.
Beberapa perkara penting yang perlu diketahui:
Sistem pemanasan yang berarah memang lebih efisien, tetapi ia mengubah cara haba tersebar. Kerana tenaga haba yang terkumpul sangat tinggi, perbezaan suhu juga menjadi lebih ketara. Jika permukaan wafer tidak rata atau jarak fokusnya tidak tepat, mungkin akan timbul zon panas pada permukaan wafer tersebut. Anda perlu memastikan jarak dan sudut lampu yang digunakan adalah tepat agar haba dapat disebarkan secara seragam.
Mengenai proses pemasangan pula? Ianya sangat mudah. Kita telah merancang peralatan ini supaya boleh digantikan secara langsung untuk sistem IR biasa. Pastikan sahaja bekalan kuasa yang digunakan mampu menampung kuasa yang diperlukan oleh peralatan ini, maka semuanya akan berjalan lancar.