Litografi bölümünde, fotoresist profilini sabitlemek için “yumuşak pişirme” ve “sert pişirme” işlemleri uygulanır. Sıcaklığı sadece iki derece bile değiştirmek, CD’lerde sapmalara ve kalite sorunlarına yol açar. Isı kaynağının, fotoresistin kimyasal özelliklerine uygun olması gerekir; ne aşırı ısınma ne de yetersiz ısılanma olmamalıdır. Her seferinde tam olarak doğru termal profil sağlanmalıdır.
Arka plandaki önemli faktörler
Kısa dalga boylu enerji üreten kızılötesi lambalar kullanılır; bu enerji, fotoresistin nasıl emdiğine göre ayarlanır. Lambanın spektral çıkışı, reçinenin tepki verdiği noktada olur. Pişirme yüzeyindeki sıcaklık homojenliği ±0,1°C civarındadır ve partiden partiye bu değer ±0,5°C içinde kalır. Kuvars kaplama ve yansıtıcılar, parçacık oluşumunu en aza indirmek için tasarlanmıştır. Sistem, Cleanroom Class 1–100 standartlarına uygundur. Çıkış gücü 5.000 saatten fazla süre boyunca stabil kalır ve yoğunluk değişimi %5’in altındadır.
İşte bu sayede üretimde başarıya ulaşılır. Lambalar 24/7 çalışır ve planlanmamış arızalar olmaz; böylece fotoresist işlem süreci düzenli olarak devam eder. Lambalar belirlenen sıcaklığa saniyeler içinde ulaşır ve orada kalır; bu da enerji tüketimini azaltır. Sonuç olarak daha az atık ürün, daha az yeniden işleme gereksinimi ve güvenilir çizgi genişliği kontrolü elde edilir. Ayrıca termal profilin tüm cihazlarda tutarlı olması sayesinde kalifikasyon süreci hızlanır ve işlem transferi tekrarlanabilir hale gelir.
Birkaç pratik not
Montaj sırasında lambanın cihazın voltajına, konektörüne ve açıklık boyutlarına uyumlu olması gerekir. Çıkış yoğunluğu, lamba ile substrat arasındaki mesfeye duyarlıdır; bu yüzden belirli toleranslar belirlenmiştir ve pirometrenin periyodik olarak yeniden kalibre edilmesi önerilir. Derin UV fotoresistler için, spektral uyumun tedarikçinizle doğrulanması gerekir; bazı formülasyonlar için daha dar bir band gerekebilir. Soğutma ve EMI yönetimi konularını önceden planlayarak, parçacık sayısını ve parazitleri standartlar içinde tutun.