На поверхні пристрою для літографії процеси „м’якого“ та „жорсткого“ висушування дозволяють фіксувати оптимальні умови для роботи фотолаку. Якщо температура зміниться навіть на два градуси, це призведе до нестабільності якості продукції. Джерело тепла має відповідати хімічним властивостям фотолаку – без перевищення чи недостатнього значення температури. Потрібен саме правильний температурний профіль, щоразу.
Що є важливим під час роботи пристрою
Ми використовуємо інфрачервоні лампи, які випромінюють енергію короткої довжини хвилі, що відповідає способу поглинання енергії фотолаку. Спектральний випромінювання налаштовано так, щоб воно впливало саме на ту частину фотолаку, яка потребує обробки. На поверхні платформи температура залишається стабільною в межах ±0,1°C, а точність регулювання – в межах ±0,5°C між серіями продукції. Кварцова оболонка та конструкція відбивача допомагають зменшити кількість частинок у повітрі. Система призначена для роботи в умовах чистої кімнати класу 1–100. Інтенсивність випромінювання залишається стабільною протягом 5 000 і більше годин, з відхиленням менше 5%.
Ось чому пристрій може ефективно працювати в умовах виробництва.
Лампи працюють 24/7 без перерв, тож процес обробки фотолаку залишається стабільним. Вони швидко досягають заданої температури та підтримують її без необхідності її коригування, що дозволяє зменшити споживання енергії. У результаті зменшується кількість бракованих продуктів, скорочується кількість необхідних корекцій, а контроль товщини шару фотолаку залишається точним. Крім того, оскільки температурний профіль залишається стабільним між різними пристроями, процес кальібрування відбувається швидше, а процес передачі технології залишається стабільним.
Кілька практичних порад:
Під час встановлення пристрою необхідно враховувати напругу, розміри разъємів та діаметр отворів пристрою. Інтенсивність випромінювання залежить від відстані між лампою та поверхнею підставки, тож необхідно дотримуватися певних толеранцій та періодично калібрувати пірометр. Для фотолаку, який чутливий до довжини хвилі, необхідно переконатися у відповідності спектру випромінювання вимогам вашого постачальника – деякі формули вимагають вузькішого діапазону частот. Також необхідно заздалегідь спланувати систему охолодження та усунення електромагнітних перешкод, щоб кількість частинок та рівень забруднення залишалися в межах допустимих значень.