Hãy ngừng việc sử dụng công nghệ làm nóng toàn bộ máy móc, và thay vào đó hãy sử dụng phương pháp làm nóng trực tiếp lên các tấm wafer. Hầu hết các bóng đèn hồng ngoại thông thường đều gây ra tình trạng tỏa nhiệt ở mọi hướng – tức là 360 độ. Điều này thật sự là một vấn đề khi bạn làm việc với những thiết bị có không gian hạn chế như các thiết bị chế tạo bán dẫn. Phần lớn nhiệt lượng đó thậm chí còn không chạm vào tấm wafer; thay vào đó, nó lại tác động lên các bức tường bên trong thiết bị. Điều này dẫn đến việc xuất hiện những “vùng nóng” trên thân máy, khiến người vận hành bị bỏng hoặc các chi tiết nhạy cảm bị biến dạng. Điều này rõ ràng không tốt chút nào.
Bí quyết nằm ở việc điều chỉnh hướng tỏa nhiệt. Thay vì sử dụng ống thạch anh thông thường, chúng ta sử dụng các bộ phản xạ và lớp phủ chuyên dụng để chuyển hướng năng lượng hồng ngoại. Hãy tưởng tượng như việc thay thế bóng đèn thông thường bằng đèn pin: chúng ta có thể tập trung nhiệt lượng vào đúng vị trí cần thiết, đồng thời ngăn không cho thân máy trở thành một “lò sưởi” khổng lồ.
Còn đối với các bước rửa sạch các tấm wafer thì lại khác. Trong môi trường này, có rất nhiều hơi ẩm và hóa chất. Nếu sử dụng bóng đèn thông thường, chúng rất dễ bị hỏng do ảnh hưởng của hơi ẩm và hóa chất. Vì vậy, chúng ta sử dụng các lớp niêm phong chống nước và lớp phủ chống ẩm. Nhờ đó, chúng ta có thể sử dụng chúng trong môi trường có độ ẩm cao mà không lo bị hỏng hay hết tuổi thọ sớm.
Một vài điểm cần lưu ý: Việc điều chỉnh hướng tỏa nhiệt giúp tăng hiệu suất, nhưng nó cũng làm thay đổi cách mà nhiệt lượng được phân bố. Do năng lượng được tập trung vào một điểm cụ thể, nên gradient nhiệt độ sẽ cao hơn nhiều. Nếu bề mặt tấm wafer không đồng đều hoặc khoảng cách từ bóng đèn đến tấm wafer không chính xác, bạn có thể gặp phải tình trạng có những điểm nóng trên bề mặt tấm wafer. Bạn không thể chỉ đơn giản “đặt bóng đèn xuống và quên mất nó” – bạn cần phải điều chỉnh chính xác khoảng cách và góc chiếu của bóng đèn để đảm bảo nhiệt lượng được phân bố đều.
Về cách lắp đặt thì rất đơn giản. Chúng tôi thiết kế chúng để có thể thay thế hoàn toàn cho các bóng đèn hồng ngoại thông thường. Chỉ cần kiểm tra xem nguồn điện của bạn có đủ công suất để cung cấp năng lượng cho bóng đèn này hay không, thì bạn đã có thể sử dụng chúng rồi.