Trên bề mặt đáy lò, những thay đổi về nhiệt độ hoặc quá trình làm nóng chậm có thể phá hỏng những thành phẩm vốn được tạo ra một cách ổn định. Quá trình sấy wafer, nướng wafer ở nhiệt độ thấp và nhiệt độ cao đều yêu cầu nguồn nhiệt ổn định, nhanh chóng và chính xác. Chúng tôi sử dụng các bóng đèn halogen quartz hồng ngoại tia ngắn để đảm bảo điều kiện nhiệt độ như vậy, mà không cần phải trả giá cao.
Những yếu tố quan trọng Chúng tôi chọn các bóng đèn halogen quartz hồng ngoại tia ngắn vì chúng giúp truyền năng lượng một cách nhanh chóng và trực tiếp. Thời gian phản ứng của bóng đèn chỉ trong vài phần giây, giúp duy trì độ ổn định của nhiệt độ một cách chính xác – điều này rất quan trọng khi phải kiểm soát nhiệt độ ở các lớp màng mỏng. Ánh sáng phát ra từ bóng đèn được điều chỉnh sao cho đạt độ đồng đều ±0.1°C trên bề mặt phim chiếu sáng, từ đó giúp duy trì kích thước và góc của các bề mặt wafer.
Thân bóng đèn được thiết kế phù hợp với môi trường sạch loại 1–100; các đầu nối của bóng đèn được đóng kín, và vật liệu được sử dụng cũng giúp giảm lượng khí thải ra ngoài. Độ sáng của bóng đèn vẫn ổn định trong hơn 5.000 giờ sử dụng, với độ lệch ít hơn 5%, nhờ đó quy trình sản xuất vẫn diễn ra ổn định.
Tại sao bóng đèn này lại phù hợp cho sản xuất? Ưu điểm của bóng đèn này là tính ổn định cao. Quy trình nướng wafer diễn ra nhanh hơn, giúp tiết kiệm năng lượng. Việc kiểm soát nhiệt độ chính xác giúp giảm số lần phải làm lại wafer, từ đó giảm chi phí hóa chất và tỷ lệ sản phẩm bị hỏng. Bóng đèn này còn giúp sấy wafer nhanh chóng, giúp giảm thiểu các khuyết tật trên wafer trước khi tiến hành quy trình in ấn. Việc thay thế bóng đèn cũng rất dễ dàng, giúp giảm thời gian dừng máy không mong muốn và giúp việc bảo trì diễn ra dễ dàng hơn.
Những chi tiết giúp bóng đèn hoạt động ổn định Bóng đèn này có thể được lắp vào các vỏ bóng đèn tiêu chuẩn của các nhà sản xuất. Trước khi đặt hàng, hãy kiểm tra kỹ loại kết nối, chiều dài vỏ bóng đèn và điện áp cần thiết. Để đạt được độ đồng đều cao nhất, hãy đảm bảo rằng hình dạng của bộ phản xạ ánh sáng phù hợp, và khoảng cách từ bóng đèn đến bề mặt wafer nằm trong phạm vi được xác định. Hãy xử lý bóng đèn một cách cẩn thận trong môi trường sạch – dấu vân tay và dầu mỡ có thể gây ra những điểm nóng và làm giảm hiệu suất hoạt động của bóng đèn. Hãy sử dụng bóng đèn trong giới hạn công suất được chỉ định, để đảm bảo quy trình sản xuất diễn ra ổn định từ ca làm việc này sang ca làm việc khác.