스마트 팹을 운영할 때 발생하는 골칫거리를 없애는 방법
차세대 팹을 계획한다면, 가장 먼저 해야 할 일은 기존의 난방 방식을 버리는 것입니다.
클린룸 내에서는 적외선 IR 시스템을 사용합니다. 왜냐하면 적외선은 복사열을 이용하기 때문입니다. 방 안의 공기 전체를 따뜻하게 하는 대신, 적외선은 목표물에 직접 에너지를 전달합니다. 이렇게 하면 환경이 안정적으로 유지되고 공기도 깨끗하게 유지됩니다. 아주 간단하지요.
실제로 필요한 데이터를 얻는 방법
스마트 팹이 제대로 작동하려면 장비들이 서로 연동될 수 있어야 합니다. 저희는 PLC로 제어되는 전원 공급 장치에 바로 연결될 수 있는 IR 램프를 사용합니다.
이를 통해 정확히 얼마나 많은 전력이 소모되는지 확인할 수 있으며, 벤치 위의 온도 변화도 실시간으로 파악할 수 있습니다. 추측이 아닌 실제 데이터를 얻을 수 있는 것입니다. 가장 좋은 점은, 램프가 고장 나기 전에 미리 그 신호를 알 수 있다는 것입니다. 그래서 생산 효율을 떨어뜨리지 않고도 램프를 교체할 수 있습니다.
빠른 난방, 하지만 재료에 주의해야 함
저희는 고열 밀도를 내도록 이 램프들을 설계했습니다. 단파 적외선을 사용함으로써, 작은 공간에 많은 에너지를 집중시킬 수 있습니다.
매우 빠릅니다. 정말 빠르죠. 거대한 오븐이 작동할 때까지 기다릴 필요가 없습니다. 몇 초 만에 목표 온도에 도달할 수 있습니다.
하지만 주의해야 할 점이 있습니다. 그 강도가 상당하기 때문입니다. 고밀도 적외선은 벤치에 큰 부담을 줍니다. 반드시 기판을 고정하는 장치가 최고 온도를 견딜 수 있는지 확인해야 합니다. 그렇지 않으면 부품들이 변형될 수 있습니다.
왜 적외선을 사용해야 할까요?
기존의 저항식 히터는 열을 사방으로 방출합니다. 하지만 적외선은 그렇지 않습니다. 에너지를 웨이퍼나 부품이 위치한 곳에 직접 전달합니다. HVAC 시스템도 불필요한 열과 싸우지 않아도 되므로 유용합니다.
게다가, 이러한 램프들을 디지털 회로에 연결하면 소프트웨어를 통해 난방 조건을 실시간으로 조절할 수 있습니다. 수동으로 조정할 필요가 없습니다. 그냥 파라미터를 설정해두면 시스템이 그대로 유지됩니다.
이것이 바로 인력을 더 고용하지 않고도 생산 규모를 확장할 수 있는 가장 쉬운 방법입니다.